摘要：本發明的公開了一種頂針頂出機構，包括內套，沿內套的周向設置有多個凸輪槽，所述凸輪槽具有水平槽部和與水平槽部呈一定角度向上延伸的斜槽部；芯軸，與內套同心設置，且固連于內套；頂針安裝座，可旋轉的聯接于芯軸；多個頂針升降銷軸，沿周向固連于頂針安裝座，與凸輪槽相對應，分別通過第一滾動軸承配合于凸輪槽內；多個頂針，固連于頂針安裝座向上的側面；彈簧，穿接于芯軸上，頂針安裝座向下的側面與內套底面之間；以及外套，與內套同心設置，可相對內套旋轉，具有與所述多個凸輪槽高度相對應的直槽，所述多個頂針升降銷軸分別通過第二滾動軸承配合于所述直槽內。本發明還公開了具有上述頂針頂出機構的高精度運動部件。
- 專利類型發明專利
- 申請人深圳市矽電半導體設備有限公司;
- 發明人康春鳳;胡泓;楊應俊;
- 地址518000 廣東省深圳市龍崗區龍城清林西路深圳市留學人員創業園一園412室
- 申請號CN200710188371.7
- 申請時間2007年11月20日
- 申請公布號CN101441225B
- 申請公布時間2011年05月11日
- 分類號G01R1/02(2006.01)I;G01R1/073(2006.01)I;G01R31/00(2006.01)I;G01R31/26(2006.01)I;G01R31/28(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;
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