摘要：一種導電薄膜，包括層疊的In2-xDxO3層及L2O3層，所述D選自Sn，Ti和Zr中至少一種，所述L2O3選自Eu2O3，Sm2O3，Y2O3，Gd2O3和Nd2O3中至少一種，X為0.005～0.15。上述導電薄膜通過在高導電的In2-xDxO3層的表面沉積低功函的L2O3層制備雙層導電薄膜，既能保持In2-xDxO3層的良好的導電性能，又使導電薄膜的低功函的特性。本發明還提供一種導電薄膜的制備方法及應用。
- 專利類型發明專利
- 申請人海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司;
- 發明人周明杰;陳吉星;王平;黃輝;
- 地址518000 廣東省深圳市南山區南海大道海王大廈A座22層
- 申請號CN201310578957.X
- 申請時間2013年11月18日
- 申請公布號CN104658639A
- 申請公布時間2015年05月27日
- 分類號H01B5/14(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;
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