摘要:一種導電薄膜,包括層疊的D2O3層,D導電層及V2O5層,其中,D2O3層為三氧化二鋁,三氧化二鎵或三氧化二銦,D導電層的材料為金屬鋁,金屬鎵或金屬銦。上述導電薄膜通過在D2O3層的表面沉積,D導電層及高功函的V2O5層制備多層導電薄膜,D2O3層既作為緩沖層和匹配層,使導電薄膜的功函數得到了顯著的提高并具有較高的透光性。本發明還提供一種導電薄膜的制備方法及應用。
- 專利類型發明專利
- 申請人海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司;
- 發明人周明杰;陳吉星;王平;黃輝;
- 地址518000 廣東省深圳市南山區南海大道海王大廈A座22層
- 申請號CN201310634797.6
- 申請時間2013年11月30日
- 申請公布號CN104681131A
- 申請公布時間2015年06月03日
- 分類號H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;