摘要：一種大面積均勻薄膜或長超導導線的制備方法，尤其涉及一種制備高溫超導覆膜導體的成膜方法，及裝置。該方法可以滿足超導長帶材和大面積膜對熱處理過程中的燒結溫度和氣氛氣流的均勻性和精確性的要求；該裝置包括爐體，石英爐管，送氣系統，出氣系統，螺旋管式長導線樣品架或者片式大面積膜樣品架，金屬法蘭盤旋轉密封系統，可調速電機，測溫熱電偶及其管道。對于大面積薄膜沉積，不需要昂貴的真空室設備投資；對于超導長導線制備，不存在界面問題，從而能夠制備出具有更好超導性能的長超導導線。采用的非真空制備方法能大大降低操作條件和實施成本，提高成膜的均勻性和連續帶材的最終臨界電流密度。
- 專利類型發明專利
- 申請人清華大學;北京英納超導技術有限公司;
- 發明人韓征和;王三勝;劉莉;
- 地址100084北京市100084－82信箱
- 申請號CN200510058998.1
- 申請時間2005年03月29日
- 申請公布號CN100372140C
- 申請公布時間2008年02月27日
- 分類號H01L39/24(2006.01);H01B12/00(2006.01);
教育裝備采購網在線客服
京公網安備11010802043465號
