摘要:本發明涉及一種微型全分析系統芯片高度定位方法:先用標準芯片調整光源和芯片工作臺高度,使俯視時可觀察到的光源聚焦點小于、等于微通道的寬度;工作芯片包括蓋片和基片,鍵合法使基片的上表面與蓋片下表面緊密貼合,蓋片上刻有小孔,基片的上表面刻有微通道,所述小孔分別與相應的微通道相通,蓋片的面積大于基片的面積,形成工作芯片安放在于芯片工作臺上時的支撐定位面,使蓋片上的支撐定位面與芯片工作臺的臺面相接觸。本發明提供的芯片高度定位方法,可以避免芯片由于材料或加工技術差別,造成的芯片厚度差別帶來的高度定位誤差,不需要人工的反復調整也不需要高成本、高技術的自動調節系統,可輕松簡單地保證每一塊芯片相對于光源高度的正確定位。
- 專利類型發明專利
- 申請人上海光譜儀器有限公司;
- 發明人王鶚;陳建鋼;方群;劉志高;王偉;張濤;富景林;張大偉;
- 地址200233上海市漕河涇高新技術開發區欽州北路1122號91號樓十樓
- 申請號CN200610025730.2
- 申請時間2006年04月14日
- 申請公布號CN100359354C
- 申請公布時間2008年01月02日
- 分類號G02B7/00(2006.01);G01N21/00(2006.01);B81B7/00(2006.01);