由英國皇家科學院院士、劍橋大學卡文迪許實驗室Russell Cowburn教授親自設計并研發的小型臺式無掩膜激光直寫儀(MicroWriter ML3, Durham Magneto Optics, Ltd.)于近日在深圳大學成功安裝并應用。該無掩膜光刻系統具有操作靈活、結構小巧(70 cm × 70 cm × 70 cm)、直寫速度快、分辨率高(< 1 um)等特點。直寫時無需掩膜版,可利用畫圖軟件直接設計版圖進行直寫曝光。同時,MicroWriter售價及維護成本低,應用操作具人性化,可為光機電、微流控和半導體等領域的實驗室提供優質的微加工解決方案。
經過不斷的升和發展,MicroWriter目前在中國已有近50多家用戶群體,包括清華大學、北京大學、中國科學院、南京大學、復旦大學、中國科技大學、華中科技大學等在內的高校研究所,研究領域涵蓋材料、物理、化學、機械、光電子等各個領域。
圖1. (左)安裝在深圳大學的小型無掩膜激光直寫系統(MicroWriter ML3 Baby);(右)由MicroWriter直寫完成的“圣誕祝?!逼毓饨Y果
圖2. 利用該小型激光直寫系統(MicroWriter ML3 pro)制備的超精細線條(~ 0.6μm)陣列曝光結果(其中標尺大小為10μm)
圖3. 利用MicroWriter可以實現準3D的灰度曝光(0 – 255階),左圖為實現灰度曝光的設計版圖,右圖為實際的曝光結果(曝光圖形實際尺寸為500μm × 500μm)
相關參考:
1. 小型無掩膜光刻直寫系統:http://www.dongsenyule.com/product/20160315755.shtml
2. 英國皇家科學院院士、劍橋大學教授Russell Cowburn介紹:https://www.phy.cam.ac.uk/directory/cowburnr