近期,瑞士swisslitho公司利用3d納米高速直寫設備完成了 nano-dog 賀卡的制作,尺寸僅有9.2μmx 5.5μm,z軸精度1nm,突破了納米加工尺寸的限,是目前精度高的納米賀卡。
喜氣洋洋的旺旺狗,體現了這款設備的納米直寫能力(高直寫精度 (xy: 10nm, z: 1nm)),同時高直寫速度,無需顯影,無臨近效應,無電子/離子損傷等特點逐漸受到科研工作者的青睞。2017推出的小面積直寫系統nanofrazor scholar更是只有30mmx30mm的樣品臺,桌面配置,大方便了實驗室科研人員的研究工作。
普通的afm針尖可無法滿足上述直寫流程的需求,為此ibm專門研發并設計了熱掃描探針。該針尖具有兩個電阻加熱區域,針尖上方的加熱區域可以加熱到1000℃。 第二處加熱區域作為熱導率傳感器位于側臂處,其能感知針尖與樣品距離的變化,精度高達0.1nm。
在每行直寫進程結束后的回掃結構時,并不是通過針尖起伏反饋形貌信息,而是通過熱導率傳感器感應形貌變化,從而實現了比afm快1000余倍的掃描速度,同時保證了3d直寫的高精度。
瑞士swisslitho公司同時將于3.28-3.29在蘇黎世舉辦第五屆熱探針研討會,屆時希望就熱掃描探針及其他探針技術問題,與各位學者展開深入的探討與交流?;顒邮艿搅藷釖呙杼结樇跋嚓P研究領域人員和熱切關注,如果您對探針技術感興趣,請點擊https://swisslitho.com/event/tpw18/ 了解詳情。