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          T-SPL納米加工雙高斯凸透鏡DBR光學微腔

          教育裝備采購網 2018-02-06 17:02 圍觀814次

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            近期,瑞士IBM蘇黎世研發中心的Colin博士和Swisslitho公司的Martin博士利用熱掃描探針(T-SPL)納米加工技術,配合干法蝕刻解決方案實現了相互作用微腔(兩個相鄰的光學微腔),并對微腔距離進行了控制,實現了兩個微腔光場的相互作用。相關工作發表在Nature子刊 Scientific Report。

            T-SPL納米加工技術

            熱掃描探針(T-SPL)納米加工技術是一種灰度刻蝕技術。與傳統意義上的3D打印技術相比,3D模型以灰度圖的形式呈現和加工,技術難度要比3D打印技術要小得多;而且,灰度刻蝕與標準微電子加工工藝,如沉積和蝕刻等直接兼容,因此具有廣泛的應用前景。例如,在光學/光子學方面,它可以用來制造任意光學曲面、多模光波導,光子晶體以及高Q值的光學微腔。在量子光子學中,高Q因子意味著光損失小,單位模式中有更多的光量子。在電子光學上,可以用螺旋結構來將軌道角動量傳遞給自由電子。相比平面結構,三維結構具備更多的功能和更好的性能。

            

          圖1 T-SPL的原理

            納米加工技術對比

            傳統納米加工技術中,電子束蝕刻(EBL)是目前先進的直寫技術,也能夠進行這種灰度的光刻。然而,當結構小于1微米時,電子束在光刻膠內的弛豫散射要計算,需要進行三維距離校正。聚焦離子束(FIB)同樣可以用于灰度光刻。然而,由入射離子引起的表面注入,深度延伸可以超過數百納米,并且需要進行復雜的計算實現臨近校正。此外,由于事故的電離造成的損害,FIB加工過的表面對進一步處理非常敏感。此時,T-SPL技術的優勢就突顯出來了。

            T-SPL納米加工技術的應用

            Colin博士利用T-SPL技術,制備了正旋波圖形(圖2a, b),螺旋相位板(圖2c, d),凹透鏡(圖2e, f),16方格棋盤(圖2g, h)。圖形結果和設計匹配,棋盤實驗中,臺階的高度僅為1.5nm。得益于閉環的直寫算法,將每一次直寫后探測的深度信息反饋并修正下一行的直寫, T-SPL技術實現了納米高精度的3D直寫。

            

          圖2 利用T-SPL技術制備各種微結構,圖形結果和設計匹配

            光子分子—雙高斯凸透鏡DBR光學微腔

            Colin博士進一步設計了光子分子——雙高斯凸透鏡DBR光學微腔(圖3)。在SiO2上刻蝕兩個相鄰的凹高斯透鏡結構,并以此為模板制作了TaO5/SiO2布拉格反射鏡(DBR);利用發光染料作為增益介質制備在DBR中間形成法布里-珀羅(Fabry–Pérot)光學微腔,發光燃料層在結構部分形成高斯凸透鏡,相鄰兩個凸透鏡各自約束一路光場在DBR中形成諧振。

            

          圖3 光子分子的設計,制備和表征

            通過加工多種不同間距的凸透鏡對,Colin博士研究了不同距離下,兩個諧振光場的耦合作用,以期實現基于交互強度控制的類腔陣列量子計算技術。T-SPL高精度3D納米加工技術必將推動量子計算的研究向一個關鍵里程碑邁進。

            參考文獻:Control of the interaction strength of photonic molecules by nanometer precise 3D fabrication.

            Swisslitho公司榮獲“瑞士產品獎”

            2017年11月13日,Swisslitho公司因NanoFrazor 3D納米直寫設備(采用熱掃描探針納米加工技術)的研發和特優勢獲得“瑞士產品獎”。該獎項主要獎授予“具有特、高技術、高質量的、的產品創新能力,具有高價值,強大潛力的公司”。

            

          圖為Swisslitho公司團隊于蘇黎世市中心舉行的頒獎典禮

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