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晶圓加工精度控制的關鍵!Yaw偏航角追蹤的閉環XY方向控制
近年來,半導體行業飛速發展,節點技術不斷縮小,EUV(紫外)和電子束技術成為佳選擇,對例如晶圓,光罩,光束對準,光學元件,反射鏡等的納米加工要求也逐步提升。尤其是對...
2022-07-26
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[技術]
高教
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ETH Zurich Norris教授課題組:3D納米直寫技術助力任意形貌六方氮化硼(hBN)納米3D結構的制備
【引言】六方氮化硼(hBN)單晶納米片的原子平滑表面,為光電應用領域帶來了革命性的突破。在納米光學方面,hBN的強非線性、雙曲線色散和單光子發射等特性,為相應的光學和...
2021-06-16
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[前沿]
高教
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掃描熱探針刻寫技術-綜述
本文轉載自微系統與納米工程Thermalscanningprobelithography—areviewSamuelTobiasHowell,AnyaGrushina,FelixHolznerJuergenBrugger(MicrosystemsLaboratory,écolePolyte...
2020-06-01
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13503
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[應用]
高教
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快速制備點接觸量子點硅基晶體管
制造高品質的固態硅基量子器件要求高分辨率的圖形書寫技術,同時要避免對基底材料的損害。來自IBM實驗室的Rawlings等人利用SwissLitho公司生產的3D納米結構高速直寫機NanoF...
2019-02-26
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442
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[應用]
高教
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nano-Dog突破納米加工尺寸限
近期,瑞士swisslitho公司利用3d納米高速直寫設備完成了nano-dog賀卡的制作,尺寸僅有9.2mx5.5m,z軸精度1nm,突破了納米加工尺寸的限,是目前精度高的納米賀卡。喜氣洋洋的旺旺狗,體現了這款設...
2018-03-09
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[方案]
高教
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T-SPL納米加工雙高斯凸透鏡DBR光學微腔
導|讀近期,瑞士IBM蘇黎世研發中心的Colin博士和Swisslitho公司的Martin博士利用熱掃描探針(T-SPL)納米加工技術,配合干法蝕刻解決方案實現了相互作用微腔(兩個相鄰的光學微腔),并對微腔距離進...
2018-02-06
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816
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[應用]
高教
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NanoFrazor 3D納米高速直寫技術研討會舉辦
畢加索名畫及納米線套刻工藝數秒呈現為便于國內外科研學者交流新納米結構研究成果,共同推動納米加工學科和新技術的蓬勃發展。2017年6月23日,QuantumDesign中國子公司與北京航空航天大學國際交...
2017-06-28
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874
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[名企]
高教
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全球小的三維納米雄雞賀卡 NanoFrazor專業定制
金雞報曉已迎春,元宵臨近聚福門,QuantumDesignChina恭祝大家新春愉快,元宵吉祥。上圖這幅立體逼真的畫作是QuantumDesignChina專為您打造的新年特別禮物??吹綀D像右面的坐標軸,是不是很驚訝...
2017-02-06
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782
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[簡訊]
高教
職教
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NanoFrazor獻上微納結構加工的圣誕祝福
3DChristmascardmadebytheNanoFrazorinPPAresist.Thedimensions:12m*7m,depthfrom0to60nm這幅圣誕賀卡的整個畫面尺寸僅有12m*7m,厚度僅有60nm,圖中MerryChristmas字跡清晰且格外流暢,風景刻畫...
2016-12-26
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687
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[簡訊]
高教
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NanoFrazor——納米加工新技術攻略
科學技術不斷發展的時代,功能結構的微納米化不僅可以帶來能源與原材料的節省,同時可以實現多功能的高度集成和生產成本的大大降低。微納米加工技術主要分為直接加工技術和圖形轉移技術。直接加...
2016-09-13
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934
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[前沿]
高教
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國家重點支持高新技術領域——儀器檢測類
為加大對科技型企業特別是中小企業的政策扶持,有力推動大眾創業、萬眾創新,培育創造新技術、新業態和提供新供給的生力軍,促進解決升級發展,科技部、財政部、國家稅務總局對《高新技術企業認...
2016-02-18
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498
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[分析]
高教
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2012年復雜流體流變學學術研討會將于7月22-24日在浙大召開
為推動我國流變學理論與應用研究的發展,由浙江大學高分子復合材料研究所和上海交通大學流變學研究所共同主辦的2012年復雜流體流變學學術研討會即將于7月22-24日期間在浙江大學高分子大樓228報告...
2012-07-04
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727
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[動態]
全領域
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蘇州工業園區納米技術人才公共實訓基地揭牌成立
教育裝備采購網訊:從中科院獲悉,為推動園區納米技術發展,培養培訓一大批納米技術高技能人才,7月22日,以中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所納米加工平臺為基礎組建的蘇州工業園區納米技術人...
2011-07-25
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270
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[地方]
全領域
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上海復旦大學近日成立微納加工和器件公共實驗室
教育裝備采購網訊:從復旦大學獲悉,近日,經校長辦公會議最終審議通過,決定成立復旦大學微納加工和器件公共實驗室。實驗室由物理系系主任沈健教授牽頭,物理系和微電子系共同參與建設和運轉。...
2011-06-27
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[實驗室動態]
全領域
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