KLA探針式表面輪廓儀
簡介：
KLA是全球半導體在線檢測設備市場的供應商，在半導體、數據存儲、MEMS、 太陽能、光電子以及其他領域中有著極高的市占率。Alpha-Step" 探針式輪廓儀支持合階高度和粗度的2D及3D(D-600)輪廓掃描，以及翹曲度和應力的2D測量。創新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。
優勢：
探針測量技術的一個優點是它是一種直接測量，與材料特性無關?？烧{節的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行精確測量。通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結構的任何變化。
-500/D-600提供1200 m垂直量測距離，亞埃分辨率以及.03- 15毫克的針壓控制范用。具有廣泛的應用范圍，包括從納米級到毫米級的臺階高度，高分辨率的粗糙度，軟材料和薄膜應力等，使其能夠服務于研發和生產環境中的各個行業。
D-500配有140毫米的手動載臺。D-600配有200毫米的自動載臺,有手動deskew對齊和多達1000個量測位置的可編寫序列軟件功能。
臺階高度重復性
亞埃分辨率及光學杠桿傳感器具有低重量低噪聲的特點。在1微米臺階的高度重復性為5埃。
舉例:
用戶界面控件可以自動聚焦在樣品表面單獨控制光強和相機的亮度、對比度以及高達4倍的數字變焦。
數據采集設置和系統硬件控制顯示在同-界面，以快速進行樣品定位和測量直接保存原始數據，數據分析無需重新測量
探針掃描:D-500:140mm的掃描載臺支持長達30 mm的單次量測和80mm的拼接功能。D-600:200mm的掃描載臺支持長達55 mm的單次量測和200mm的拼接功能。D-500/D-600垂直測量范圍是1200 um，針壓可低至0.03 mg，可以精確量測包括薄膜、軟性材料、高臺階、彎曲度和應力等多種材料及應用。
超高清鏡頭:D-500/D-600配備先進的光學系統，包括一個高分辨率5MP彩色相機4倍數碼變焦和增強的照明控制。
梯形校正:側視鏡頭下的樣品畫面會出現一定程度的扭曲。全新梯形校正功能，可以自動去除扭曲效應。
圓修正:圓弧修正功能可自動修正探針在測量過程中的圓弧運動，極大提高了側壁傾角和臺階寬度量測的精確度。
3D掃描(D-600)和2D應力(D-500/600選配):三維掃描詳細地展現樣品表面的臺階高度，紋理，和樣品的形貌。使用應力卡盤將樣品支撐在中性位置精確測量樣品翹曲。然后通過應用Stoney方程，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應力.
