F50薄膜厚度均勻性測量儀
依靠F50先進的光譜測量系統,可以很簡單快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標移動平臺,可以非??焖俚亩ㄎ凰铚y試的點并測試厚度,測試非??焖?,大約每秒能測試兩點。用戶可以自己繪制需要的點位地圖。F50系統配置高精度使用壽命長的移動平臺,確保能夠做成千上萬次測量。
產品名稱:F50薄膜厚度測量儀
品牌:Filmetrics
產品型號:F50
產地:美國
自動化薄膜厚度繪圖系統
依靠F50先進的光譜測量系統,可以很簡單快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標移動平臺,可以非??焖俚亩ㄎ凰铚y試的點并測試厚度,測試非??焖?,大約每秒能測試兩點。用戶可以自己繪制需要的點位地圖。F50系統配置高精度使用壽命長的移動平臺,確保能夠做成千上萬次測量。
系統中預設了許多極坐標形、方形和線性的圖形模式,也可以編輯自己需要的測試點。只需掌握基本電腦技術便可在幾分鐘內建立自己需要的圖形模式。
可測樣品膜層
基本上所有光滑的。非金屬的薄膜都可以測量??蓽y樣品包括:
量測原理
當入射光穿透不同物質的界面時將會有部分的光被反射,由于光的波動性導致從多個界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長光譜產生震蕩的現象。從光譜的震蕩頻率,我們可以判斷我們可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度(愈多的震蕩代表較大的厚度)。而其他的材料特性如折射率與粗糙度也能同時測量。
FILMeasure軟件提供兩種分析模式:
Sepectru-Matching與FFT。在Spectrum-Matching模式中,您可以分析厚度與折射率。反正,FTT模式雖然只能測量厚度,但在較厚的薄膜厚度測量,FFT的分析能力更為健全。
FILMapper軟件-自動測量
測繪圖案繪制
用戶能隨心所欲的繪制所需的圖案,操作功能方便省時
測繪圖案參數:
?圓形/方形
?放射狀
?中心或邊緣排除
?點位密度
2D和3D的測繪
不論是反射率,厚度還是折射率的測量,都可以用2D或3D呈現。測繪結果能依不同的需要做調整,參數設定簡單容易。測繪圖能從不同的角度檢視。