磁力真空退火爐 磁場真空合金爐

<

• 
• 

>

產品報價： ￥888元

留言咨詢

產品熱度：加載中

品　　牌：晨立

產品型號：cl

制造廠商：晨立

適用范圍：高教 職教

所在地區：山東 青島 即墨

　　用途：

　　該設備用于半導體芯片生產工藝過程中，在可控磁場中實現真空退火、真空合金、真空晶化等工藝。該系統具有精確的磁場強度和溫度控制系統和高真空系統。

　　主要技術參數：

　　◆結構型式：臥式熱壁型

　　◆工作溫度范圍：500度，700度，1100度。

　　◆恒溫區長度及精度：±0.5℃/800mm

　　◆氣體流量設定精度:±1％F.S

　　◆氣路系統氣密性： 1×10-7pa.m3/s

　　◆工藝均勻性:≤±5％

　　◆控制方式： 工業微機控制

　　◆真空度： 5*10-4 Pa

　　◆記錄工藝曲線數量及工藝步數不受限制