摘要：本實用新型公開了一種用于質譜儀的真空腔系統，其包括一真空腔，所述真空腔通過一連接腔連接一分子泵，所述分子泵連接一不銹鋼管，所述真空腔還連接一真空規，所述真空腔兩端設有端蓋，所述端蓋與真空腔連接處加設有O型密封圈，所述真空腔的表面粗糙度Ra達到0.8-1.6，所述真空腔使用的是鋁材料。本實用新型的用于質譜儀的真空腔系統結構簡單，易于拆裝，可以保證質譜儀的真空度達到一個較高的水平。
- 專利類型實用新型
- 申請人江蘇天瑞儀器股份有限公司;
- 發明人胡曉斌;任建凱;
- 地址215200 江蘇省昆山市巴城鎮葦城南路1666號天瑞大廈
- 申請號CN201020218077.3
- 申請時間2010年06月08日
- 申請公布號CN201829450U
- 申請公布時間2011年05月11日
- 分類號H01J49/04(2006.01)I;
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