摘要：本實用新型涉及真空設備技術領域，特別涉及一種真空管道，包括第一管體、第二管體以及波紋管，所述的波紋管設置有兩個以上，氣體經過第一管體分流至兩個以上的波紋管中，流過波紋管的氣體再經過第二管體匯流至一起，第一管體和第二管體為剛性材料制成，真空管道的進、出氣口同心布置，波紋管的管長方向垂直于進氣口的軸心方向且兩個以上的波紋管關于該軸心對稱布置。由于波紋管關于進氣口的軸心對稱布置且與軸心垂直，這樣各波紋管的拉伸和壓縮變形被互相抵消，而第一、二管體是剛性的，這樣抽氣時真空泵和真空腔體之間就不會發生位移；同時，由于這里設置了波紋管，這樣真空泵的振動也不會傳遞給真空腔體，起到很好的隔振效果。
- 專利類型實用新型
- 申請人安徽萬瑞冷電科技有限公司;哈爾濱工業大學;
- 發明人何超峰;丁先庚;王輝;劉彥武;郁歡強;董相文;孫興中;戴建彪;張海峰;卞榮耀;李陽;陳耀鋒;張俊峰;武義鋒;章學華;
- 地址230088 安徽省合肥市高新區海棠路189號
- 申請號CN201620207524.2
- 申請時間2016年03月16日
- 申請公布號CN205447065U
- 申請公布時間2016年08月10日
- 分類號F16L39/04(2006.01)I;F16L27/11(2006.01)I;
教育裝備采購網在線客服
京公網安備11010802043465號
