摘要：本實用新型公開了電感耦合等離子體質譜儀真空閥門，包括：基座，所述基座具有待密封封口，且具有第一腔室及第二腔室；具有前后伸縮部件的動力源裝置；滑動系統；封閉裝置等;本實用新型采用開合結構，通過開合來實現靜態和動態真空，并且開啟時，進氣量很小，滿足檢測需要。同時此結構簡單，可通過軟件控制，運動順暢，更適合于儀器整體化設計，裝配簡單，智能化程度高，滿足高真空要求等。
- 專利類型實用新型
- 申請人江蘇天瑞儀器股份有限公司;
- 發明人應剛;孫克強;丁志國;周立;
- 地址215347 江蘇省蘇州市江蘇省昆山市玉山鎮中華園西路1888號天瑞產業園
- 申請號CN201420661275.5
- 申請時間2014年11月07日
- 申請公布號CN204114169U
- 申請公布時間2015年01月21日
- 分類號F16K1/00(2006.01)I;F16K1/32(2006.01)I;F16K31/122(2006.01)I;F16K41/02(2006.01)I;F16K51/02(2006.01)I;
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