摘要:本實用新型成像窗口,包括:襯底,在所述襯底上鍍有氮化硅膜;所述氮化硅膜的形狀和尺寸與所述襯底的形狀和尺寸相同;通孔,多個所述通孔貫穿設置在所述氮化硅膜上;溝槽,所述溝槽設置在所述襯底上,所述溝槽貫穿所述襯底;其中所述溝槽為一倒置的正四棱臺空穴結構,底面開口位于所述襯底上部、頂面開口位于所述襯底下部;所述溝槽的頂面的位置與多個所述通孔的位置相對應。本實用新型成像窗口使創口具有高親水性,成為生物和濕細胞的理想承載體,可以實現TEM、SEM、AFM、XPS、EDX的同一區域的交叉配對表征。同時,在高透射率基礎上,獲得超大視野范圍。
- 專利類型實用新型
- 申請人上海納騰儀器有限公司;
- 發明人王晟;
- 地址201616 上海市松江區小昆山鎮秦安街18號A區3號房H座
- 申請號CN201420468643.4
- 申請時間2014年08月19日
- 申請公布號CN204087839U
- 申請公布時間2015年01月07日
- 分類號G21K7/00(2006.01)I;