摘要：本實用新型為用于高純鍺烷氣中微量雜質分析的氦離子化氣相色譜儀，其特征在于：所述的氦離子化氣相色譜儀包括色譜柱箱、溫控系統、信號采集處理系統和尾氣處理系統，所述的信號采集系統包括氦離子化檢測器和色譜柱工作站，所述的溫控系統實現各個色譜柱和檢測器的獨立控溫，并且控制色譜柱溫度按照時間程序升溫，所述色譜柱工作站的結構包括三個切換閥、三個色譜柱、四個針閥和三個載氣氣路，所述的三個切換閥為一個十通閥和兩個六通閥，所述的氦離子化檢測器與色譜柱工作站的線路連接。本實用新型針對高純鍺烷氣中微量雜質進行分析，通過氦離子化檢測器高靈敏度實現ppb級別雜質分析，實現一次進樣操作即完成對鍺烷雜質的全分析。
- 專利類型實用新型
- 申請人上海華愛色譜分析技術有限公司;
- 發明人莊鴻濤;郁光;方華;
- 地址200233 上海市徐匯區田林十村37號446室
- 申請號CN201320818912.0
- 申請時間2013年12月13日
- 申請公布號CN203672844U
- 申請公布時間2014年06月25日
- 分類號G01N30/02(2006.01)I;G01N30/20(2006.01)I;G01N30/60(2006.01)I;
教育裝備采購網在線客服
京公網安備11010802043465號
