摘要：本實用新型公開了一種帶有破空功能的分子泵，包括有分子泵泵體，所述的分子泵泵體上分別設有兩個中間進氣口和一個分子排氣口，所述的分子泵泵體上分子排氣口處還設有分子泵破空閥，所述的分子泵破空閥還連接有過濾一體化節流裝置。本實用新型結構簡單，所用材料為常規材料，成本低，延長了分子泵的使用壽命，能使分子泵在停止工作后從高轉速快速降至停止狀態。
- 專利類型實用新型
- 申請人安徽皖儀科技股份有限公司;
- 發明人張志;胡眉;
- 地址230088 安徽省合肥市高新區天達路71號華億科技園B幢皖儀大廈
- 申請號CN201220257850.6
- 申請時間2012年06月02日
- 申請公布號CN202732472U
- 申請公布時間2013年02月13日
- 分類號F04D29/40(2006.01)I;F04D29/00(2006.01)I;F04D29/70(2006.01)I;
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