摘要：本實用新型涉及一種高度集成的測試腔結構，它密封性好，漏點少，占地空間小，結構簡單，安裝方便。其結構為：它包括一個金屬集成塊，在金屬集成塊上設有至少一個測試單元；測試單元包括一個測試腔，試樣安裝在測試腔上；同時，測試腔還與一對氣路孔連通；在至少一個氣路孔上設有至少一個流量控制裝置；其中至少一個氣路孔還與至少一個氣路切換裝置連接。
- 專利類型實用新型
- 申請人濟南蘭光機電技術有限公司;
- 發明人姜允中;
- 地址250031 山東省濟南市天橋區無影山路144號
- 申請號CN201020654402.0
- 申請時間2010年12月13日
- 申請公布號CN201885742U
- 申請公布時間2011年06月29日
- 分類號G01D11/00(2006.01)I;
教育裝備采購網在線客服
京公網安備11010802043465號
