摘要：本實用新型涉及一種綠激光顯微精密修調機，由機架、二維工作臺、精密旋轉臺、探針、高倍顯微鏡、外光路護套、45度全反鏡、擴束鏡、激光器部件組成，機架的上面安裝激光器，在激光器的出光孔處裝有擴束鏡，45度全反鏡安裝在擴束鏡與外光路護套之間，機架的中間安裝高倍顯微鏡，高倍顯微鏡的上方與外光路護套相連，且其下方的物鏡聚焦的綠激光直達精密旋轉臺，機架的下方安裝二維數控工作臺，二維工作臺的上面裝有精密旋轉臺和探針。本實用新型利用精細聚焦的高峰值功率脈沖綠激光光斑，作為精密修切的光刀，配以實時自動檢測和精密移位工作臺，可實現對電阻、電路和傳感器等器件作高精度自動修切調整，使電阻調節、斷點刻蝕和圖案標刻一氣呵成。
- 專利類型實用新型
- 申請人武漢華工激光工程有限責任公司;
- 發明人盧飛星;陳澤民;邱忠明;汪宏志;游立德;
- 地址430223湖北省武漢市華中科技大學科技園華工科技激光產業園
- 申請號CN200620172515.0
- 申請時間2006年12月22日
- 申請公布號CN200994226Y
- 申請公布時間2007年12月19日
- 分類號H05K3/00(2006.01);H01L21/00(2006.01);H05K13/06(2006.01);
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