摘要:本發明涉及一種激光回饋干涉儀,包括:正交偏振激光模塊,用于同向輸出兩束空間上重合的正交偏振的激光;第一分光鏡,設置于從所述正交偏振激光模塊輸出激光的光路上;第一偏振分光鏡,設置于所述第一分光鏡反射形成反射光的光路上;光電探測模塊,設置于所述第一偏振分光鏡輸出的正交偏振光的光路上;聲光移頻模塊,設置于第一分光鏡透射的透射光的光路上;第二分光鏡,設置于從聲光移頻模塊出射的光路上;匯聚模塊,設置于所述第二分光鏡反射的激光的光路上;反射模塊,用于將入射的光再次反射回正交偏振激光模塊;第二偏振分光鏡,設置于從所述第二分光鏡透射的光路上,用于形成偏振態分離的參考光及測量光。本發明提供的激光回饋干涉儀精度高。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京鐳測科技有限公司;
- 發明人張書練;張韶輝;談宜東;
- 地址100022 北京市朝陽區建華南路11號
- 申請號CN201610847628.4
- 申請時間2016年09月23日
- 申請公布號CN106546165A
- 申請公布時間2017年03月29日
- 分類號G01B9/02(2006.01)I;