摘要：本發明公開了基于激光超聲的表面缺陷開口寬度的測量裝置及其方法。其步驟為：1)脈沖激光器探頭和激光干涉儀探頭放置在工件表面缺陷的一側；2)脈沖激光器在工件表面激勵出聲表面波，激光干涉儀分別測得直達表面波信號R1和從缺陷反射回的表面波信號RR1；3)控制二維位移平臺運動，使脈沖激光器探頭和激光干涉儀探頭在表面缺陷的另外一側；4)重復步驟2)，干涉儀測得直達表面波信號R2和從缺陷反射回的表面波信號RR2；5)通過兩次干涉儀測量得到的直達表面波信號和缺陷回波信號到達時間，以及二維運動平臺運動位移d，計算出表面缺陷的開口寬度。本發明能夠用于在位檢測，且對于不同內部形狀的開口缺陷均能準確測得開口的寬度。
- 專利類型發明專利
- 申請人浙江大學;
- 發明人居冰峰;王傳勇;薛茂盛;朱吳樂;孫澤清;孫安玉;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖區浙大路38號
- 申請號CN201610524370.4
- 申請時間2016年06月29日
- 申請公布號CN106017371A
- 申請公布時間2016年10月12日
- 分類號G01B17/00(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I;
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