摘要：本發明提供一種PVDF超聲換能器電極的制作方法及PVDF超聲換能器，所述PVDF超聲換能器電極的制作方法，包括：獲取電極的圖案；將所述圖案覆蓋在PVDF導電薄膜上，所述PVDF導電薄膜的上下表面的電極為鋁電極，且其上表面涂有感光材料；對覆蓋了圖案的PVDF導電薄膜進行曝光、顯影、蝕刻及脫模處理，得到帶有所需電極圖案的PVDF壓電薄膜。相對于現有的復雜電極PVDF超聲換能器制作方法，基于上述方法制作的PVDF超聲換能器有更高的靈敏度，且有工藝簡單、價格低等優點。
- 專利類型發明專利
- 申請人湖南大學;
- 發明人王波;彭寬;肖嘉瑩;朱自強;
- 地址410082 湖南省長沙市麓山區岳麓山南路麓山門
- 申請號CN201610207534.0
- 申請時間2016年04月05日
- 申請公布號CN105772380A
- 申請公布時間2016年07月20日
- 分類號B06B1/06(2006.01)I;B06B3/04(2006.01)I;H01L41/047(2006.01)I;
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