摘要：本發明公開了一種基于多軸對稱激光束的微探針尖端熱成形系統，涉及微探針尖端加工制造領域。該系統主要包括：激光模塊、多軸對稱光路模塊、在線監測模塊、探針位置調整模塊、信號分析處理模塊和激光防護模塊等；所述的激光模塊發出的CO2激光經過多軸對稱光路模塊后，形成相對于Z方向對稱的四束激光，從探針的四個對稱方向對其尖端進行加熱成形；所述的在線監測模塊可將實時加工信息反饋給信號分析處理模塊，并通過信號分析處理模塊及時調整探針的加工方案。本系統采用的多軸對稱激光束微探針尖端熱成形方法，可使探針尖端均勻受熱，保證熱應力分布平衡，能夠快速形成具有較高幾何與形貌精度的探針尖端，提高了探針尖端加工成形的質量和效率。
- 專利類型發明專利
- 申請人四川大學;
- 發明人許斌;尹德強;方輝;劉乾乾;
- 地址610065 四川省成都市武侯區一環路南一段24號
- 申請號CN201610034625.9
- 申請時間2016年01月20日
- 申請公布號CN105537757A
- 申請公布時間2016年05月04日
- 分類號B23K26/00(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I;
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