摘要：本發明公開了一種薄膜應力測量裝置，包括激光器、擴束鏡、會聚透鏡、帶分光鏡的移測顯微鏡以及鍍有鋁半透膜的平面玻璃，所述激光器發出的激光束照射至擴束鏡成為發散光束后，再通過會聚透鏡成為平行光束至分光鏡，所述分光鏡將光垂直反射至平面玻璃上，所述分光鏡為傾斜度可調，所述測試樣品放在平面玻璃上，垂直入射的激光束照射在半透膜平面以及薄膜樣品上，反射后的激光束產生等厚干涉條紋，并顯示在移測顯微鏡中。本發明的薄膜應力測量方法基于基片彎曲發和牛頓環的原理，搭建了簡便的薄膜應力測量裝置，能夠快速準確地測量薄膜的應力隨薄膜厚度的變化，本發明的裝置結構簡便，測量結果準確，適用性廣。
- 專利類型發明專利
- 申請人蘇州精創光學儀器有限公司;
- 發明人尚修鑫;
- 地址215300 江蘇省蘇州市昆山市開發區章基路189號
- 申請號CN201410606292.3
- 申請時間2014年11月03日
- 申請公布號CN104316234A
- 申請公布時間2015年01月28日
- 分類號G01L1/24(2006.01)I;
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