摘要:本發明涉及氣體流量控制技術領域,公開了一種流量控制器。該流量控制器包括:底板,及設置于底板上的出口座、調節閥座、分流器座、流量傳感器座和進口座;所述出口座內置有出口,所述調節閥座內置有調節閥,所述分流器座內置有分流器,所述流量傳感器座內置有傳感器,所述進口座內置有進口;所述底板內設置有氣路通道,所述出口座、調節閥座、分流器座、流量傳感器座和進口座分別與所述氣路通道連通。本發明提供的流量控制器在底板上設置有通道,縮小了流量控制器的整體體積;具有質量輕、方便攜帶且安裝空間小的特點。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京堀場匯博隆精密儀器有限公司;
- 發明人劉賢軍;吳英;
- 地址100012 北京市朝陽區北苑路40號
- 申請號CN201410594550.0
- 申請時間2014年10月29日
- 申請公布號CN104281163A
- 申請公布時間2015年01月14日
- 分類號G05D7/06(2006.01)I;