摘要：本發明公開了一種光電化學太陽能電池光電極微納結構制造工藝，包括步驟：1)在潔凈硅片上熱生長一層SiO2薄膜、2)在有SiO2層的硅片表面光刻出圓孔陣列圖形、3)刻蝕暴露的SiO2，將光刻的圖形轉移到SiO2層、4)鍍Cu膜、5)去除表面的光刻膠及光刻膠表面的Cu、6)生長Si微米線陣列、7)在Si微米線表面鍍一層ZnO膜、8)在Si微米線表面生長ZnO納米線、9)在ZnO納米線表面制備一層CdS薄膜、10)在ZnO/CdS結構表面沉積一層CdSe薄膜、11)在ZnO/CdS/CdSe結構表面沉積IrOx量子點。本發明提供的這種微納分級結構制造工藝用在光電化學太陽能電池光陽極的應用中，有利于光吸收和光生載流子的分離、收集和傳輸，為光電化學太陽能電池光陽極微納結構的設計與制造提供一種解決方案。
- 專利類型發明專利
- 申請人華中科技大學;
- 發明人廖廣蘭;孫博;史鐵林;盛文軍;譚先華;江婷;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區珞喻路1037號
- 申請號CN201410162535.9
- 申請時間2014年04月22日
- 申請公布號CN103996542B
- 申請公布時間2017年01月11日
- 分類號H01G9/20(2006.01)I;
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