摘要：本發明公開了一種微氣泡發生器及其制備方法。微氣泡發生器包括襯底、兩個電極和碳納米管；兩個電極均包含石墨烯，碳納米管通過石墨烯連接兩個電極，碳納米管用作加熱組件。制備方法包括如下步驟：在生長有石墨烯的金屬箔表面旋涂PMMA；除去金屬箔，將PMMA保護的石墨烯轉移至襯底上，熱處理使石墨烯與襯底緊密結合；除去PMMA；通過光刻和反應離子刻蝕得到兩個石墨烯電極；在襯底上覆蓋Cu2O納米粒子，用Cu2O納米粒子作催化劑，碳氫化合物作碳源，采用低壓CVD工藝，在800～950℃下，生長與石墨烯電極垂直的水平定向碳納米管。本發明降低了微氣泡發生器的功耗，有效延長了微氣泡發生器的壽命，且器件結構簡單，設計靈活，具有良好的高頻響應和密集集成潛力。
- 專利類型發明專利
- 申請人華中科技大學;
- 發明人周文利;鄧武竹;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區珞喻路1037號
- 申請號CN201410017876.7
- 申請時間2014年01月15日
- 申請公布號CN103769025B
- 申請公布時間2015年12月09日
- 分類號B01J19/08(2006.01)I;
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