摘要：本發明公開了一種增加低溫泵抽速的方法，采用熱噴涂方法在低溫泵的障板表面生長一層粗糙的氧化鋁薄膜。本發明在不改變障板結構、尺寸的前提下，增加了比表面積，能有效提高低溫泵的抽速。
- 專利類型發明專利
- 申請人安徽萬瑞冷電科技有限公司;北京航天長征飛行器研究所;
- 發明人許令順;武義鋒;徐中堂;仰葉;周家屹;劉得成;南華;李革;陳福泰;
- 地址230088 安徽省合肥市高新區海棠路189號
- 申請號CN201310299016.2
- 申請時間2013年07月17日
- 申請公布號CN103397999A
- 申請公布時間2013年11月20日
- 分類號F04B37/08(2006.01)I;C23C4/10(2006.01)I;
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