摘要：本發明提供了一種水蒸氣測量裝置，包括：連通質譜儀的第一氣體氣源；連通儲水容器內部的第二氣體氣源；所述儲水容器具有進口和出口，所述進口連通所述第二氣體氣源，所述出口連通所述質譜儀；第一計算模塊用于根據所述質譜儀傳送來的對應于第二氣體的離子信號強度得出水蒸氣濃度；模型建立模塊用于根據第一計算模塊得出的水蒸氣濃度、質譜儀傳送來的對應于水蒸氣的離子信號強度得出水蒸氣濃度的測量模型；第二計算模塊用于根據質譜儀傳送來的對應于待測水蒸氣的離子信號強度、所述測量模型得出待測水蒸氣的濃度。本發明具有準確、快速、穩定、測量成本低等優點。
- 專利類型發明專利
- 申請人聚光科技（杭州）股份有限公司;
- 發明人張進偉;鄭利武;張飛;陳生龍;顧海濤;
- 地址310052 浙江省杭州市濱江區濱安路760號
- 申請號CN201210434516.8
- 申請時間2012年11月05日
- 申請公布號CN102980936B
- 申請公布時間2015年01月14日
- 分類號G01N27/62(2006.01)I;
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