摘要：本發明公開了一種利用反射泰鉑效應成像的方法及其應用及裝置，用激光束作照明光源，通過光路修整激光的波形后，對不透明的周期結構樣品進行照射，使照射后產生的反射光束在反射泰鉑像屏上成像。本發明采用激光作為光源，通過光路修整激光的波形后，對不透明的周期結構樣品進行照射，使照射后產生反射自成像。本發明可應用于各種激光微加工結構的觀察與控制系統中，特別是在硅基上的光子晶體與波導的光子制備中，它能對真空腔中的樣品實現在線的反射泰鉑成像放大與顯微分析，極大的簡化了硅基上微結構的放大與顯微工序，提高了生產效率。
- 專利類型發明專利
- 申請人貴州大學;
- 發明人黃偉其;
- 地址550025 貴州省貴陽市花溪區貴州大學北校區科學技術處
- 申請號CN201210304971.6
- 申請時間2012年08月26日
- 申請公布號CN102890060A
- 申請公布時間2013年01月23日
- 分類號G01N21/17(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I;G02B21/36(2006.01)I;
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