摘要：本發明公開了一種激光編碼器，包括一個激光光源、衍射光柵、偏振分光棱鏡、準直透鏡、1/4波片、物鏡、編碼盤、凹透鏡、圓柱透鏡和光電接收器，其中編碼盤可繞一個位于中心的固定轉軸旋轉，其表面為可以反射所述激光的反射面，其上設置三組同心環狀的信息軌，其中每組信息軌由多個彼此間隔開的帶狀單元組成，所述的帶狀單元是在編碼盤表面加工形成的、與編碼盤表面的其他區域的高度差應使從所述的凸臺或凹坑形區域反射回的光和從編碼盤表面的其它區域反射回的光在相位上相差180度的凸臺或凹坑區域。本發明還公開了一種采用上述激光編碼器的位移測量方法以及數控機床加工方法。
- 專利類型發明專利
- 申請人西門子(中國)有限公司;
- 發明人王廣玉;何明晰;孟爾平;曼弗雷德·勃姆;
- 地址100102北京市朝陽區望京中環南路7號
- 申請號CN200510072357.1
- 申請時間2005年05月31日
- 申請公布號CN100538278C
- 申請公布時間2009年09月09日
- 分類號G01D5/26(2006.01)I;G01D5/347(2006.01)I;G01D5/38(2006.01)I;
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