LBIC 光束誘導電流成像系統采用振鏡掃描技術，對樣品表面做快速掃描。產生的光電流信號通過探針引到源表，再顯示在軟件界面，用三維圖顯示樣品表面在同一個光強下電流分布，以此推算樣品的光電轉換均勻性和材料的缺陷分布。
光束誘導電流成像系統是用于檢測材料光電流強度分布的專用設備，主要用來測量光電材料的光電響應信號和表征材料 的光電特征。光束誘導電流成像系統將光電材料對于光信號響應的不均勻性以可視化和量化的方式顯示出來。該系統可以研 究光電探測器的量子效率，器件的電阻分布特征，研究太陽能電池光生電流的不均勻性，研究器件吸收和電荷生成的微區特性， 以及光電材料界面，半導體結區的品質分布等。
整個系統的結構包含光源（激光器或者連續光源），顯微鏡，掃描振鏡，數字源表，探針臺和計算機軟件等。激光通過掃 描透鏡，掃描振鏡，成像透鏡，經過顯微鏡聚焦到樣品表面，激光激發樣品產生光電流，光電流信號通過探針引出至源表， 再通過電腦在軟件中讀出，掃描時振鏡是通過電壓控制器控制光束的偏轉角度，激光的光斑在樣品的 XY 方向上掃描移動， 軟件記錄每一個激光聚焦光斑的位置和其對應的電流值，在軟件上同步描繪出光電流成像圖，顯示樣品的電流分布。
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功能簡介
產品特點
● 多路激光波長可選
● 樣品位置二維可調，實現快速換樣
● 整體探針位置二維可以移動，方便測試樣品的不同位置
● 樣品在靜止情況下實現mapping掃描，消除電移 臺的震動的影響
● 可視化和人性化軟件（測試區間位置通過框圖的 方式選取，實現了可視范圍即掃描范圍）
應用領域
● 納米材料
● 二維材料
● 晶圓分析
● 探測器光電性能檢測
● 面陣探測器pixel檢測
● 器件電荷生成的微區特性
……
基本參數
| 激光器（光源） | ●標配532nm激光器，穩定性1%@4小時 ●可選配2路激光器用于光電流測試 |
| 顯微鏡模塊 | ●LED照明 ●物鏡：標配（20X，WD=7.5） 超長工作距離 ●掃描范圍：300 x 200μm （20x物鏡下） ●分辨率：小于150nm ●重復性：小于1μm |
| 數據采集 | ●電流源表：Keithley 2450 ●測量范圍：1nA – 1A ●暗噪聲：50pA ●分辨率：20fA ●準確度：0.04% |
| 探針臺模塊 | ●直徑65mm真空吸附卡盤 ●探針座和樣品整體二維移動，方便樣品位置與光斑位置重合 ●樣品位置單獨二維移動，實現快速更換樣品 ●探針座：XYZ行程12mm，分辨率0.7μm ●探針：鎢針，直徑5μm，10μm，20μm可選 |
| 軟件 | ●光電流mapping：可以設定固定的電壓，逐點獲取電流值 ●I-V曲線mapping：可以設定指定的電壓區間，逐點獲取I-V曲線 ●框圖指定區域mapping掃描 |
產品圖示
探針臺模塊
軟件測試樣品圖示
軟件測試樣品圖示
產品視頻
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