HAD-686是新型的真空測量儀,它針對內熱電偶真空測量的實際情況,將產熱偶傳感器和美Hastings公司的熱堆傳感器的儀表組合成個儀表,通過面板按鍵切換傳感器測量的種類,采用計算機術對真空測量數據行了優化處理,提升了產品實用性、方便性和能性,可應用于航天、機械、石油、化、低溫液體貯運設備、冶金、電子及療等域的各類真空測量。產品符合JB/T6873-2005。
分類原理介紹
按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的真空計分為三大類,分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。
利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(Bourdon)和薄膜電容規;利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規和熱電偶規;利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰電離規和冷陰電離規。
波爾登規(Bourdon)
波爾登規
波爾登規
如右圖所示,細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現象,會帶動杠桿和齒輪旋轉,使得針示在不同刻度上,即可讀出相應的氣壓值。
這種規的測量范圍般在100Pa至1atm。
薄膜電容規
如右圖所示,在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形,使得金屬膜片和電之間的電容變化,通過測量電容的變化量,即可知道金屬膜片上氣壓的變化。
這種規的測量范圍般橫跨4個量,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
這種規的優點是靈敏度很。缺點是須在于環境溫度的恒溫條件下使用,以消除溫度不同對膜片力學性能的影響,使用前般需要預熱數小時。
皮拉尼電阻規
皮拉尼電阻規
皮拉尼電阻規
也叫做熱電阻真空計,它是利用電阻與溫度之間關系的原理作的。
如右圖所示,由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同,當給熱絲加恒定的電流時,由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同,熱絲所保持的溫度就不同,這導致熱絲電阻大小不同,通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。
如果配合電橋測量熱絲電阻的變化,將有效提測量的準確度。
這種規的測量范圍般在0.1Pa至1000Pa。
由于不同氣體在相同氣壓時導熱性不同,所以這種規需要在不同的使用氣體下標定。
分類
熱電偶規
如右圖所示,熱電偶規與皮拉尼電阻規基本原理致,只是它不用測量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。
測量范圍般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規樣,這種規也需要在不同的使用氣體下標定。
熱陰電離規
如右圖所示,熱陰電離規中,由熱陰即燈絲發射電子,電離真空中的氣體分子,產生離子,由收集收集產生的離子,形成離子電流,通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,而得到氣壓大小。
這種規的測量范圍般為1.0E-05Pa至0.1Pa。
經改后的熱陰電離規,Bayard-Alpert規,可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,這種規在使用時也需要在不同氣體下行標定。
冷陰電離規
冷陰電離規
冷陰電離規
如右圖所示,冷陰電離規也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法行氣壓測量,但與熱陰電離規不同的是,它是利用磁控放電電離氣體分子產生離子。
這種規的測量范圍般為1.0E-07Pa至0.1Pa。
與熱陰電離規同樣的原因,這種規在使用時需要在不同氣體下標定。
本公司主營 不銹鋼采水器,罐底焊縫真空檢測盒,讀數儀,八空氣微生物采樣器,,雙波長掃描儀,涂層測厚儀,土壤粉碎機,鋼化玻璃表面平整度測試儀,,,腐蝕率儀,,凝固點測試儀,水質檢測儀,涂層測厚儀,涂層測厚儀,土壤粉碎機,數顯式溫度計,氣體采樣泵,陶瓷抗沖擊試驗機,自動結晶點測試儀,藥物凝固點測試儀,干簧管測試儀,恒溫水浴箱,汽油根轉,氣體采樣泵,鋼化玻璃測試儀,水質檢測儀