低溫的氣體分子碰撞溫固體時,會從固體奪取熱量。通過被氣體分子奪取的熱量來計算壓力的真空計被成為熱傳導真空計。熱傳導真空計主要被應用于中低真空域。代表性的熱傳導真空計包括Pirani真空計和熱電偶真空計。
界著名真空企業，在皮拉尼真空計的生產藝上采用白金絲，代替傳統燈絲。大大提了產品穩定性。穩定性的提使得皮拉尼真空計獲得更為廣泛的應用。隨著真空術的普及，大量應用于單晶爐設備，滿足光伏行業基礎單晶硅生產。應用于節能燈毛管排氣臺，解決了以往由于火花檢漏儀打火和溫成的真空計死機問題。如果大家仔細觀察很多現代真空術生產線設備，會發現這種Tamagawa真空計小件，應用廣泛。真空已經隨著商業業步，走平常生活緊密相關的域。
電阻真空計原理
Pirani皮拉尼真空計構如圖所示。金屬圓筒內設有白金細線,兩端連接電。通過電給白金細線提供電流時,白金細線會發熱,氣體分子碰撞白金細線或熱輻射或通過固體熱傳導等方式,白金線的熱量會被奪走。單位時間內以上三種方式奪走的熱量為Qg,Qr,Qs,則平衡狀態下時以下公式成立
Q = I2R = Qg + Qr + Qs (1)
Q是單位時間細線放出的熱量,R是細線的電阻,I是細線的電流。
氣體的平均自由行程比細線的直徑大很多時,Qg通過自由分子的熱傳導被表示為
Qg = αΛπda(T-T0)p (2)
如圖所示,T和T0分別為細線和金屬圓筒的溫度,P為氣體壓力,a是細線長度。 剩下的Qs和Qr可以分別表示如下
Qs = Sκ(T-T0)/L (3)
Qr = πdaσε(T4-T04) (4)
(3)是電的熱傳導,其中S是細線的斷面積,κ是固體的傳導率,L是電的長度。
(4)式代表熱輻射,σ和ε分別被稱為常數和固體輻射率。如果保持T和T0定,則(3)和(4)式為常數。如果用I02R表示定量的固體熱傳導和熱輻射,則式1可以表示為
I2R = Ap + I02R (5)
A = αΛπda(T-T0) (6)
I0是壓力為0的時候細線的電流, 是彌補固體熱傳導和熱輻射而帶來的熱量損失。A式是不依存壓力的定數如果已知細線的電阻R,電流I0及定數A,則可以通過(5)式求得壓力P。
電阻真空計的校準
般校準零點，再行滿度校準。
(1)校準零點。校準零點需對被測真空系統抽真空，旦電離規測得真空度于1.0^-1Pa(如9.9 X10^-2Pa)，按"校零"按鈕，對應示燈亮或快速閃爍，真空計自動校正零點，當顯示1.0^-1Pa時，表示規管零點已校準。對于無自動零點校準的電阻真空計，可通過操作面板上的電位器旋鈕手動調整。
(2)滿度校正。校準零點后，需對其滿度校正。按滿度校正過程要求，對被測爐腔放人大氣，確保被校電阻規所測位置為大氣狀態，在大氣壓下作約10分鐘。按"滿度"按鈕，對應示燈亮或快速閃爍，真空計自動校正滿度，當顯示1.0^5 Pa時，表示規管滿度已校準。對于無自動滿度校準的電阻真空計，可通過操作面板上的電位器旋鈕手動調整。
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