1-2022-SC-SU-I型磁控濺射儀---設備彩頁.doc
SC-SU-I型磁控濺射儀
參數
指標
石英倉尺寸
150X120MM
樣品臺尺寸
70mm
濺射面積
50mm
真空度
5pa
可通氣體
氬氣,氮氣等惰性氣體
濺射速度
8nm/min
整機功率
200W
機器尺寸
360(W)X310(D)X150mm(H)