優點：
快速分析Ultra DI的采樣量大，能夠快速獲取有效統計數據儀器可以快速清洗，便于在采樣點之間快速移動，節省操作人員的時間采樣時間間隔較短，縮短粒子分析時間改善制程采樣體積大，零點計數值超低，可獲取更多的有效統計數據，監測更微量的粒子漂移實時監測粒子污染，對其作出迅速反應Facility Net軟件具有更先進的制程控制功能：文數傳呼、傳感器狀態顯示、制表和SPC圖、時間圖、歷史數據記錄等更小的樣本間誤差，適用于更嚴格的制程控制監測靈敏度達到0.05μm，能更迅速地監測制程變化容易使用可使用現有的以太網通訊網絡通過4-20mA直接連接PLC和SCADA系統可用于監測臭氧水不銹鋼外殼，雙HEPA過濾，可用于很臟的環境
應用
量化先進的超純水（UPW）系統中的粒子濃度 檢測過濾器效率 分析低濃度粒子趨勢 監測UPW系統中的細菌增長 粒子事件追蹤和報警 制程控制 連續系統監測
