產品特點：
模塊化設計
可單獨使用(S)或集成于手套箱(G)
不同的模塊之間可實現自由組合
多基板&多掩模工藝
一致性標準偏差在+/-3 %區間(幾何式設計可縮小至+/-1 %)
OPTIvap 4可用于大小150x150 mm或直徑150 mm (6英寸)的基板
OPTIvap 6可用于大小200x200 mm 或直徑280 mm (8英寸)的基板
應用行業：
復雜的多層鍍膜設備(用于OLED,OPV)
光學鍍膜
光伏、半導體行業
