精密片材涂布機由高精度、經認證的工業部件制成
花崗巖底座,提供剛度并隔絕震動
真空吸盤平面度優于5 μm,帶有基片進樣系統
定制寬度的狹縫涂布頭,寬度可達650mm
電機驅動、可編程的涂布頭高度調節,分辨率為1μm
電機驅動、可編程的涂層偏移調節,分辨率為1 μm
真空吸盤由直線伺服電機和驅動放大器控制
同步材料注射泵-(可選:可同時控制多個注射泵)
高精度的自動化S2S涂布系統
FOM pontumSC是高度自動化的狹縫涂布系統,適用于需要對涂布過程進行高精度控制并實現自動重復進樣的高端應用。
深度集成的控制系統
FOM pontumSC配備了一個深度集成的控制系統,可以控制涂布刀頭、泵和樣品臺的運動。XY平臺可實現基片和涂布頭之間的高精度定位,而涂布頭的Z軸定位為涂布工藝提供了超平滑的運動控制。在線式基片給料系統可實現多樣品連續涂布。
易于實驗重復和配方調用
該系統使用戶可以以高度可控,可預測的方式進行高精度功能薄膜的重復涂布,在每個生產周期中保持高良率。
FOM工業級S2S涂布能力
FOM工業級S2S涂布機是一種用于精密狹縫涂布的高端片材涂布機。通過配備了自動基片給料系統、可控固化單元和配方控制軟件的全自動狹縫涂布系統來滿足工業級生產對涂布精度和重復性的要求。僅需簡單的操作即可實現多層結構的自動涂布或多樣品量產。FOM pontumSC是為面積達1m x 650mm的剛性基板設計的涂布機,該高精度自動化涂布系統可以滿足大多數中試規模的大面積印刷電子產品的需求。