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          定量分析型EBIC

          定量分析型EBIC
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          • 定量分析型EBIC
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          POINT ELECTRONIC
          DISS6
          高教
          詳細說明

            PE提供兩種EBIC分析版本,定量分析型EBIC和基本型EBIC。

            定量分析型EBIC系統擁有豐富的測試和分析功能。它包含一個EBIC測試電路、一個掃描發生器、一個EBIC特制樣品夾持器、一個法蘭和分析軟件。分析軟件可進行多種分析,例如:灰度分析、線掃描、點測試、EBIC電流分析等等。

            基本型EBIC系統是一個簡單的EBIC測試系統。它包含一個EBIC測試電路、一個EBIC特制樣品夾持器和一個法蘭。 該系統信號輸出可連接到電鏡“外部”輸入接口。利用這個系統,電鏡軟件可以處理和控制EBIC圖像。

            EBIC系統廣泛用于器件或電路的分析,例如:

            研究材料性質與器件性能之間的關系

          • 對整個器件的電學活性進行圖像觀察

          • 區分電活性缺陷和電鈍化缺陷

          • 電活性與EDS和EBSD的協同分析

            以分辨率定位電缺陷

          • 為TEM或AFM的制樣做準備

          • 在FIB或SEM中利用EBIC直接觀察樣品缺陷,避免轉移樣品后丟失缺陷位置

          • 在樣品切削制備過程中,基于EBIC圖像決定停止切削動作

            對大面積器件進行結點和缺陷的面掃描

          • 鑒別所有的電活性缺陷

          • 繪制結點和電場的活性區域

          • 確認摻雜情況和區域

            基于的EBIC信息對材料性質進行分析

          • 測量缺陷對比度/復合強度

          • 提取少數載流子的擴散長度

          • 確定耗盡層的寬度

            利用內置的偏壓和實時疊加驗證器件的運作模式

          • 圖像觀察分層器件的結點和場

          • 在偏壓下繪制太陽能電池的電活性

          • 器件設計模型和實際圖像觀察的器件工作行為的比較

            通過深度剖析得到三維信息

          • 改變SEM的電子束高壓以得到不同深度的EBIC信號

          • 研究FIB-SEM中截面的EBIC圖像

          • 輸出不同深度的EBIC信號以進行3維重構

            EBIC采集軟件:

            SE信號和EBIC信號的同時采集:

            實時偽彩色調制工具:

            I-V特性曲線:

            EBIC線掃描:

            性能指標:

          1. 分辨率 <10 pA (depending on the specimen)

          2. 增益粗調 103… 1010V/A

          3. 增益細調 0.1 … 100 × 連續地

          4. 輸入補償

          5. 輸出補償

          6. 信號反轉

          7. 零平衡

          8. 可調節低通濾波器

          9. 校準用電流源*

          10. 可調節偏壓 (+/- 10 V)*

          11. 電鏡束流測試輸出 (外部)*

          12. 外部鎖相放大器的AC-output* 

          13. 圖像系統的信號輸出 (0 … 1 V)

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