PE提供兩種EBIC分析版本,定量分析型EBIC和基本型EBIC。
定量分析型EBIC系統擁有豐富的測試和分析功能。它包含一個EBIC測試電路、一個掃描發生器、一個EBIC特制樣品夾持器、一個法蘭和分析軟件。分析軟件可進行多種分析,例如:灰度分析、線掃描、點測試、EBIC電流分析等等。
基本型EBIC系統是一個簡單的EBIC測試系統。它包含一個EBIC測試電路、一個EBIC特制樣品夾持器和一個法蘭。 該系統信號輸出可連接到電鏡“外部”輸入接口。利用這個系統,電鏡軟件可以處理和控制EBIC圖像。
EBIC系統廣泛用于器件或電路的分析,例如:
研究材料性質與器件性能之間的關系
對整個器件的電學活性進行圖像觀察
區分電活性缺陷和電鈍化缺陷
電活性與EDS和EBSD的協同分析
以分辨率定位電缺陷
為TEM或AFM的制樣做準備
在FIB或SEM中利用EBIC直接觀察樣品缺陷,避免轉移樣品后丟失缺陷位置
在樣品切削制備過程中,基于EBIC圖像決定停止切削動作
對大面積器件進行結點和缺陷的面掃描
鑒別所有的電活性缺陷
繪制結點和電場的活性區域
確認摻雜情況和區域
基于的EBIC信息對材料性質進行分析
測量缺陷對比度/復合強度
提取少數載流子的擴散長度
確定耗盡層的寬度
利用內置的偏壓和實時疊加驗證器件的運作模式
圖像觀察分層器件的結點和場
在偏壓下繪制太陽能電池的電活性
器件設計模型和實際圖像觀察的器件工作行為的比較
通過深度剖析得到三維信息
改變SEM的電子束高壓以得到不同深度的EBIC信號
研究FIB-SEM中截面的EBIC圖像
輸出不同深度的EBIC信號以進行3維重構
EBIC采集軟件:
SE信號和EBIC信號的同時采集:
實時偽彩色調制工具:
I-V特性曲線:
EBIC線掃描:
性能指標:
分辨率 <10 pA (depending on the specimen)
增益粗調 103… 1010V/A
增益細調 0.1 … 100 × 連續地
輸入補償
輸出補償
信號反轉
零平衡
可調節低通濾波器
校準用電流源*
可調節偏壓 (+/- 10 V)*
電鏡束流測試輸出 (外部)*
外部鎖相放大器的AC-output*
圖像系統的信號輸出 (0 … 1 V)