氧化鋁陶瓷基底叉指電極：線寬線距可精確控制到5到200μm。鈺芯常規氧化鋁陶瓷基底叉指電極可耐250°C高溫。具有高導熱和高介電常數的特性，經常作為傳感器，聲表面波濾波器，微波射頻等電信號傳輸核心部件，廣泛應用于移動通信、醫療檢測、環境在線監測等重要領域。
PET/PI柔性叉指電極，PET為半透明材料基底，PI為黃色基底；PI柔性叉指電極使用溫度可達150°C，PET柔性叉指電極則為80°C。PI基底相對比較柔軟。柔性電極可以貼合人體皮膚，實時傳輸檢測信號，具有多層卷繞、性能倍增的特性，可大幅度提高電池和超級電容器的整體性能，提高體積比容量。還可用于柔性醫療傳感器、可穿戴式傳感器。
氧化鋁陶瓷基底叉指電極微型探針臺
氧化鋁陶瓷基底叉指電極微型探針臺KT-Z4019MRL4T 參數
真空腔體 | ||
類型 | 高溫型室溫到400℃ | 高低溫型室溫到400℃室溫到-196℃ |
腔體材質 | 304不銹鋼6061鋁合金可選 | |
腔體內尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔體重量 | 不銹鋼材質約1.5KG 鋁合金材質約0.5KG | |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） | |
腔體抽氣口 | KF16法蘭（其余接口規格可轉接） | |
腔體真空測量口 | KF16法蘭（其余接口規格可轉接） | |
腔體進氣口 | 6mm快擰或6mm快插 | |
腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 | |
腔體水冷接口 | ||
腔體正壓 | ≤0.05MPa | |
腔體真空度 | 機械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） | |
樣品臺 | ||
樣品臺材質 | 不銹鋼銀銅合金純銀塊 | 銀銅合金純銀塊 |
樣品臺尺寸 | 26x26mm | |
樣品臺加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱液氮制冷 |
樣品臺-視窗距離 | 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） | |
樣品臺測溫傳感器 | PT100型熱電阻 | |
樣品臺溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到400℃室溫到-196℃ |
樣品臺測溫誤差 | ±0.5℃ | |
樣品臺升溫速率 | 高溫100℃/min 值低溫7℃/min | |
溫控儀 | ||
溫度顯示 | 7寸人機界面 | |
溫控類型 | 標準PID溫控+自整定 | |
溫度分辨率 | 0.1℃ | |
溫控精度 | ±0.5℃ | |
溫度信號輸入類型 | PT100 （可選K S B型熱電偶） | |
溫控輸出 | 直流線性電源加熱 | 直流線性電源加熱+液氮流速控制器 |
輔助功能 | 溫度數據采集并導出實時溫度曲線+歷史溫度曲線可擴展真空讀數接口 | |
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
溫控器重量 | 約5.6KG | |
探針 | ||
電信號接頭 | 配線轉接BNC接頭BNC三同軸接頭SMA 接頭香蕉插頭線長1.2米 | |
電學性能 | 絕緣電阻≥4000MΩ介質耐壓≤200V 電流噪聲≤10pA | |
探針數量 | 4探針（可擴展5探針） | |
探針材質 | 鍍金鎢針（其他材質可選） | |
探針尖 | 10μm | |
手動探針移動平臺 | ||
X軸移動行程 | 20mm ±10mm（需手動推動滑臺） | |
X軸控制精度 | ≥500μm | |
R軸移動行程 | 120° ±60°（需手動旋轉探針桿） | |
R軸控制精度 | ≥500μm | |
Z軸移動行程 | 2mm ±1mm | |
Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動螺紋調節探針桿） | |
