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          嘉儀通科技4吋快速退火爐RTP-3-04系列1200℃真空/氣氛退火

          嘉儀通科技4吋快速退火爐RTP-3-04系列1200℃真空/氣氛退火
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          產品報價: 500000
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          嘉儀通科技
          RTP-3-04
          武漢嘉儀通科技有限公司
          高教 職教
          湖北 武漢 洪山區
          詳細說明

            快速退火爐RTP-3-04系列采用紅外輻射加熱技術,可實現大尺寸樣品(4英寸樣品)快速升溫和降溫,同時搭配超高精度溫度控制系統,可達到溫場均勻,對材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)及金屬合金化等研究和生產工作起到重要作用。

            產品特點

          • 可測大尺寸樣品:可測單晶片樣品的尺寸為4英寸。

          • 可遠程操作:提供遠程監控模塊。

          • 壓力控制系統創新設計:高精度控制壓力,以滿足不同的工藝要求。

          • 存儲熱處理工藝:方便工藝參數調取,提高實驗效率,數據可查詢。

          • 快速控溫與高真空:升溫速率可達150℃/s,真空度可達到10-3Pa。

          • 程序設定與氣路擴展:可實現不同溫度段的精確控制,進行降溫段的自動轉接,并能夠對工藝菜單進行保存,方便調用。采用MFC精確控制氣體流量,實現不同氣氛環境(真空、氮氣等)下的熱處理。

          • 獨特的腔體空間設計:保證大尺寸樣品的溫場均勻性 ≤1.5%。

          • 全自動智能控制:采用全自動智能控制,包括溫度、時間、氣體流量、真空、冷卻水等均可實現自動控制。

          • 超高安全系數:采用爐門安全溫度開啟保護、溫控器開啟權限保護以及設備急停安全保護三重安全措施,保障設備使用安全

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