UOTEST DCH-196高低溫真空探針臺是我司自主研發的一款在極
端環境下給樣品加載電學信號的設備?？梢詫崿F器件及材料表征的
IV/CV特性測試，射頻測試，光電測試等。通過液氮或者壓縮機制
冷，可以在防輻射屏內營造一個穩定的測試環境。在特殊材料，半
導體器件等研究方向具有廣泛運用。一般用于相關單位實驗室。
產品優勢：
防輻射屏和熱沉設計
降溫速度快，常溫降至77k<25mins，大大提高測試效率
液氮自動控制系統，液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯動共同控制溫度
詳細參數：
產品類型 | 低溫開循環 | 低溫閉循環 | |
型號 | DCH-196 | DCH-4 | |
外形 | 900*900*600mm | 1000*1000*600mm | |
重量 | 約100KG | 約150KG | |
電力需求 | AC220V,50~60HZ | AC380V,50~60HZ | |
腔體 | 腔體尺寸 | 8英寸，帶4英寸高紅外透射率觀察窗 | |
樣品臺尺寸 | 2英寸/4英寸 | 2英寸 | |
樣品固定方式 | 真空導熱硅脂/彈簧壓片 | ||
真空度 | 10^-4pa真空 | ||
接口形式 | 電信接口，真空接口，光纖接口，冷源接口等 | ||
其它 | 帶防輻射屏和熱沉設計 | ||
溫控系統 | 制冷方式 | 液氮 | 壓縮機 |
溫控范圍 | 77K~473K | 4.2K~450K | |
溫控精度 | ± 0.1度 | ||
溫度穩定性 | ± 0.1度 | ||
降溫速度 | 常溫降到77k優于25mins | 常溫降到10k優于180mins | |
控制方式 | 液氮自動流量控制 | 壓縮機控制 | |
光學系統 | 顯微鏡類型 | 體式/單筒/金相顯微鏡 | 體式/單筒顯微鏡 |
移動范圍 | 水平360度旋轉，Z軸50.8mm調焦/定制其它 | ||
真空腔觀察窗尺寸 | 2inch | 2inch | |
CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數字）/500W（數字） | ||
探針臂 | 探針臂數量 | 多6個 | |
X-Y-Z行程 | 50mm-25mm-25mm | ||
點針精度 | 10微米/2微米 | ||
漏電精度 | 10pA/100fA | ||
接口形式 | 三軸/SMA/K/光纖接口 | ||
探針 | 頻率范圍 | DC-67G | |
探針直接 | 1um/2um/5um/10um/20um可選 | ||
材質 | 鎢鋼，鈹銅 | ||
真空系統 | 機械泵/分子泵組/離子泵 | ||
可選附件 | 防震桌，鍍金卡盤，氣敏測試組件等 | ||
應用方向 | 高低溫真空環境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等 | ||
產品特點 | 防輻射屏和熱沉設計 | ||
液氮自動控制系統，液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯動共同控制溫度 | |||
降溫速度快，常溫降至77k<25mins，大大提高測試效率 | |||
