摘要：本實用新型涉及一種加熱勻膠的旋涂裝置，所述裝置包含有豎向設置的轉軸（5），所述轉軸（5）頂部套裝有一水平設置的載物盤（1），所述轉軸（5）上套裝有隔熱盤（4）和導電滑環（6），所述隔熱盤（4）上安裝有加熱盤（3），所述加熱盤（3）通過導電滑環（6）與電源相連接，上述隔熱盤（4）位于加熱盤（3）和導電滑環（6）之間，且加熱盤（3）位于載物盤（1）的下方。本實用新型涉及一種加熱勻膠的旋涂裝置，能夠在旋轉過程中對膠液進行加熱并對溫度進行精確控制。
- 專利類型實用新型
- 申請人江蘇雷博科學儀器有限公司;
- 發明人汪竹;陳建鋒;曹喜喜;萬發能;
- 地址214434 江蘇省無錫市江陰市澄江中路159號Ｃ301
- 申請號CN201620161944.1
- 申請時間2016年03月03日
- 申請公布號CN205570723U
- 申請公布時間2016年09月14日
- 分類號B05C13/02(2006.01)I;B05C9/14(2006.01)I;
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