摘要:本實用新型涉及一種電感耦合等離子體的自動穩定控制裝置,包括壓控晶體振蕩器、功率放大器和功率分配器,所述壓控晶體振蕩器、所述功率放大器和所述功率分配器依次電連接,所述功率分配器的輸出端連接有功率模塊單元,所述功率模塊單元的輸出端連接有功率合成器,所述功率合成器的輸出端連接有定向耦合器,所述定向耦合器的輸出端連接有增益控制單元,所述增益控制單元的輸出端與所述壓控晶體振蕩器相連接。本實用新型涉以晶體管為功率器件,采用低電壓供電,結構完整,體積小,具有理想的功率強度和穩定性。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京海光儀器有限公司;
- 發明人杜江;張德元;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M3樓
- 申請號CN201520648203.1
- 申請時間2015年08月26日
- 申請公布號CN204887663U
- 申請公布時間2015年12月16日
- 分類號H05H1/24(2006.01)I;