摘要：本實用新型涉及一種電感耦合等離子炬的自動阻抗匹配裝置，包括依次電連接的高頻功率輸入單元、阻抗檢測器、鑒相器、調整阻抗電容器和控制器，調整阻抗電容器并聯有調頻電容器，調整阻抗電容器和調頻電容器之間連接有高頻線圈，控制器與阻抗檢測器之間連接有第一執行機構，控制器與調頻電容器之間連接有第二執行器，阻抗檢測器和鑒相器分別監測高頻功率輸入單元的輸出端的阻抗絕對值和相值并發送至控制器，控制器根據采集到的阻抗絕對值和相值數據發送指令到第一執行器和第二執行器，第一執行器和第二執行器分別調控調整阻抗電容器和調頻電容器的電容值以接近標準值。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京海光儀器有限公司;
- 發明人杜江;張德元;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M3樓
- 申請號CN201520648202.7
- 申請時間2015年08月26日
- 申請公布號CN204887662U
- 申請公布時間2015年12月16日
- 分類號H05H1/24(2006.01)I;
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