摘要:本實用新型公開了一種防止真空泵污染的重量法物理吸附儀,該吸附儀包括:包括:測試裝置、真空泵、閥門、管路和冷阱裝置;其中,真空泵經所述冷阱裝置、閥門、管路與測試裝置連通。該吸附儀通過將冷阱裝置設置安裝在真空泵和測試裝置之間,通過冷阱裝置的冷卻隔離作用,有效除去了抽真空過程中的水、有機蒸汽等進入真空泵,保護真空泵,保持了真空度和真空泵的使用壽命,提高測試精度。
- 專利類型實用新型
- 申請人貝士德儀器科技(北京)有限公司;
- 發明人柳劍峰;
- 地址100193 北京市海淀區上地東北旺中路東馨園小區9號4單元602
- 申請號CN201420156173.8
- 申請時間2014年04月01日
- 申請公布號CN203758867U
- 申請公布時間2014年08月06日
- 分類號G01N5/02(2006.01)I;