摘要:本實用新型屬于真空技術領域,具體涉及一種雙向排氣爪型泵,包括電機、泵體和泵體內平行安裝的主動軸與從動軸,主動軸上裝配有主動齒輪,與主動齒輪相嚙合的從動齒輪裝配在從動軸上,主動軸連接電機,其特征在于:泵體由多級相互隔離的泵腔串聯組合而成,每級泵腔中設置一對轉子,位于泵體中間位置的中間級泵腔連接進氣口,位于泵體兩端的最后一級泵腔上分別設有上端蓋、下端蓋,上、下端蓋上有排氣口。本爪型泵結構簡單緊湊,通過多級泵腔進行抽氣且具有兩個排氣口,實現了爪型泵的雙向排氣;通過增大進氣口、排氣口尺寸,使真空系統內氣體能夠有效地抽出,提高了爪型泵的極限真空度和抽氣速率。
- 專利類型實用新型
- 申請人淄博沃德氣體設備有限公司;
- 發明人肖慶濤;崔峰;劉元華;
- 地址255000 山東省淄博市科技工業園英雄路13號
- 申請號CN201220526754.7
- 申請時間2012年10月16日
- 申請公布號CN202867217U
- 申請公布時間2013年04月10日
- 分類號F04C23/00(2006.01)I;F04C29/12(2006.01)I;