摘要:一種冷陰極輔助能譜系統,將陰極發光儀固定到顯微鏡上,通過能譜探測器附件與探測器連接,同時將探測器與電腦連接;其特征是:在陰極發光真空室觀察窗的位置添加能譜探測器附件,將探測器放置在能譜探測器附件上。該系統簡化了前期樣品處理,能夠同時獲得樣品的透射、偏光、陰極發光圖片和樣品的元素種類、成分、形態與含量分析數據和譜圖,避免了電子槍的過熱造成的飽和、熱激發和儀器污染。此外,陰極光束大小、方向可調,儀器操作方便簡潔。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京美嘉圖科技有限公司;
- 發明人張蘭坤;
- 地址100053 北京市宣武區廣內登萊胡同4號
- 申請號CN201020536626.1
- 申請時間2010年09月20日
- 申請公布號CN202421509U
- 申請公布時間2012年09月05日
- 分類號G01T1/36(2006.01)I;