摘要：本實用新型公開的是一種汽車歧管絕壓傳感器，包括擴散硅芯片，其特征在于，在擴散硅芯片的表面上運用硅-硅鍵合和硅-玻璃融封技術形成一個杯型背壓腔保護層，把流體介質與擴散硅芯片表而電路隔離，所述杯型背壓腔保護層上設有基座引腳，所述基座引腳通過焊接的方式與擴散硅芯片的芯片引角連接；擴散硅芯片與杯型背壓腔保護層形成一敏感元件。本實用新型具有能夠抗振動、抗冷熱沖擊、抗過載、抗電磁干擾的能力以及體積小、結構靈活、精度高、穩定性和一致性好優點；而且可換性強，抗腐蝕和抗磨損能力卓越，從而使擴散硅壓力傳感器在生產工藝上和性能指標上了一個新臺階，產業化水平有了較大的提高，應用設計靈活性有了大大的提高。
- 專利類型實用新型
- 申請人昆山諾金傳感技術有限公司;威海諾金傳感技術有限公司;北京鑫諾金傳感技術有限公司;北京鑫諾金電子科技發展有限公司;北京德思源電子科技發展有限公司;
- 發明人郭宏;王莉莎;申愛群;師斌;龐曉華;
- 地址215325 江蘇省昆山市周莊鎮高科技園區
- 申請號CN201020126949.3
- 申請時間2010年03月09日
- 申請公布號CN201697743U
- 申請公布時間2011年01月05日
- 分類號G01L9/06(2006.01)I;
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